該裝置是利用催化劑在低溫下實現對有機物的氧化，因為其操作簡單且凈化、處理的效果比較好，因此在使用率方面還是比較高的。不過不同的設備可能采取的工藝流程是不一樣的。不過，一般說來其工藝也就是廢氣預處理、預熱裝置、催化燃燒裝置。使用的時候需要注意：

  氣流和溫度均勻分布。要使通過催化劑表面的氣流和溫度分布均勻，并保障火焰不直接接觸催化劑表面，燃燒室需要具有足夠的長度和空間。裝置應具有良好的保溫效果。爐體一般用鋼結構的外殼內襯耐火材料，或用雙層夾墻結構；輔助燃料和助燃。該裝置一般采用天然氣作輔助燃料，也可用燃料油、電加熱等作輔助燃料。助燃一般用凈化后的氣體，如果凈化后的氣體不能作為助燃，則應引入空氣助。

  除了以上的之外，催化燃燒裝置也是便于我們進行清洗和更換的，因為催化劑反應器一般會設計成模屜結構，這樣清洗起來比較簡單、方便。