隨著吸附的進行，吸附劑逐漸達到飽和，在與高溫熱空氣的接觸過程中，有機廢氣被脫附下來形成高度濃縮的廢氣，同時吸附床得到再生。再生后的吸附床又可進行吸附作業。經脫附形成的濃縮廢氣進入催化燃燒器，生成二氧化碳和水達標排放。

　　廢氣催化燃燒設備的催化燃燒過程是在催化燃燒裝置中進行的。脫附需要外加熱量，加熱裝置設在燃燒爐內，將其開啟后同時預熱催化劑，催化劑到達溫度后進行化學反應。進行廢氣凈化。

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