等離子廢氣處理設備處理污染物的原理為：在外加電場的效果下，介質放電發(fā)生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發(fā)，使復雜大分子污染物轉變?yōu)楹唵涡》肿游镔|，或使有毒有害物質轉變成無毒無害或低毒低害的物質，從而使污染物得以降解去除。

       處理設備所使用的等離子體是一種聚集態(tài)物質，它有別于知識中的“固”、“液”、“氣”三態(tài)物質，是物質的第四態(tài)，其所擁有的高能電子同空氣中的分子碰撞時會發(fā)生一系列基元物化反響，并在反響過程中發(fā)生多種活性自由基和生態(tài)氧，即臭氧分化而發(fā)生的原子氧。活性自由基可以有效地破壞各種病毒、細菌中的核酸，蛋白質，使其不能進行正常的代謝和生物合成，從而致其死亡；而生態(tài)氧能迅速將多種高分子異味氣體分化或還原為低分子無害物質。

       等離子廢氣處理設備在工作時會發(fā)生臭氧，由臭氧分化出生態(tài)氧，而臭氧是一種*的有效空氣殺菌劑，到達一定濃度時對人體也有害，不僅有臭味，也可能致癌。由于臭氧的不穩(wěn)定性，存在時刻很短，因而可以做到既能繼續(xù)殺滅細菌、病毒，又使空氣中的臭氧濃度保持在一定水平對人體無害。

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