等離子廢氣處理設備是需要配備收集箱的，設置了收集吸附微塵顆粒的廢液收集箱，可把含有微塵顆粒的廢液及時得到排放、并可以清洗微塵廢液收集箱和處理廢液。既不會在廢氣凈化內形成堵塞的可能，而達到一個安定且有效的分離微塵顆粒、并使用壽命長的凈化裝置。
利用載體上的三元催化劑把碳氫化合物、一氧化碳起到氧化反應成二氧化碳和水份、再利用氧化反應所生成的水份，附加噴灑化學成分稀釋水溶液的方式，發揮對微塵顆粒的吸附能力，增加對氮氧化合物的還原反應，可提高對廢氣凈化處理的效率。
化工廠廢氣凈化設備調節閥連接后進入旋流除塵塔將大顆粒及溶于水的物質先噴洗下來，再經脫水器將水霧分離，即利用脫水器的脫水功能除去廢氣上攜帶著的水分，出來的廢氣進入等離子凈化器處理，后經噴淋箱將溶于水的有機廢氣溶解在水中，后凈化后的廢氣由引風系統抽出，完成廢氣治理。
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