催化燃燒裝置廢氣凈化吸附機制是在通過阻火器過濾廢氣后，它通過主進口閥旁通閥的同步反向切換進入熱交換器。熱交換器的熱交換升溫到一定溫度然后進入預熱室，并由預熱室加熱。將廢氣加熱至催化起燃溫度（~250℃），然后進入催化反應床。在催化劑的作用下，有機廢氣經歷氧化反應，產生無害的水和二氧化碳，并釋放出一定量的熱量。反應后的高溫氣體再次進入熱交換器，熱交換后，然后通過引風機在較低溫度下排入大氣。
RCO蓄熱式催化燃燒簡寫RCO蓄熱式催化燃燒裝置，有不過凈化原理是一樣的，主要很多催化燃燒廠家的原理技術有一定出入性。
催化燃燒是有機物在氣流中被加熱,在催化床層作用下,加快有機物化學反應(或破壞效率的方法 ) ,催化劑的存在使有機物在熱破壞時比直接燃燒法需要更少的保留時間和更低的溫度。催化劑在催化燃燒系統中起著重要作用。用于有機廢氣凈化的催化劑主要是金 屬和金屬鹽 ,金屬包括貴金屬和非貴金屬。目前使用的金屬催化劑主要是 Pt、 Pd,技術成熟 ,而且催化活性高 ,但價格比較昂貴而且在處理鹵素有機物 ,含N、 S、 P等元素時 ,有機物易發生氧化等作用使催化劑失活。非金屬催化劑有過渡族元素鈷、 稀土等。。例如V2O5 +MOX (M:過渡族金屬 ) +貴金屬制成的催化劑用于治理甲硫醇廢氣 , Pt + Pd + Cu催人劑用于治理含氮有機醇廢氣。
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